刻机上，还需要进行不断的调试。
苏远山对机械不甚了解，他只知道，如果零部件误差在允许范围内的话，那么精度的提升就只能依靠纠偏系统了。
纠偏系统，顾名思义，就是纠正偏移的系统。它的工作原理说简单也简单，就是搭配光栅传感器，把精度控制、调整在可以接受的范围内。但说复杂也复杂，因为它对运动控制模块的要求相当高。
曲慧合上书，回答道：“计划当然是有计划，我们接下来会一直继续优化纠偏系统和运动控制模块，但现在没办法告诉你准确的进度。”
苏远山慢慢点头，突然问道：“首都高科对双工件台的出口计划是什么？”
郑振川和曲慧一对视，两人同时沉默。
片刻后，郑振川轻声道：“小山，我们被国外掐脖子掐得够厉害了，我认为我们的双工件台不需要出口。”
曲慧同样点头：“我也认为。”
……
苏远山长长地叹了一口气。
直到现在，他才终于弄明白了这二人的真正来意。
曲慧的想法，大概是她更多从要之前被掐脖子掐得狠了，现在终于轮到自己领先，要“爽一把”的角度来考虑。
而郑振川，则是考虑到双工件台所带来的效率提升，必定会赋予宏芯光刻机强大的竞争力——说白了，就是郑振川把国产光刻机的未来押在了双工件台上。
但显然……首都精科那边的想法不一样。
毕竟这是产品，而不是技术。
是，产品是存在着被山寨的可能，但别忘了，有种东西叫防拆自毁装置——这还是西方搞出来的。
一旦出口，则意味着首都精科将会拥抱更大的市场，拥有更高的平台，甚至还极有可能用双工件台来换取某些领域封锁的解除。
而世人皆知，远芯在半导体领域内，拥有无比的前瞻和影响力。
如果远芯能够表明态度，那么这双工件台到底是被列为禁止单独出口的设备，还是可以供货给目前世界所有的光刻机企业……或许就能尘埃落定了。
——这便是两人在双工件台刚好完成“拼装”，还处于保密期就来找苏远山的原因。
……
苏远山当然知道双工件台的重要性。
他而且还知道，在历史上的4年后，asml就会利用上双工件台技术。而数年后，更是依靠磁悬浮双工件台和浸润式技术大杀四方，彻底把尼康佳能彻底打落尘