度要求很高的工序,相对应的光罩对精度的要求时最高的,比如晶体管相关的光罩,而对精度要求不那么高的工艺,比如pad(打线孔)等要求就低一些,光罩价格也便宜一些。
先进制程对光罩精度的要求越来越高,同时不能有缺陷,所以光罩制造后的检查也很重要。
(注:上面对光罩的解释,引用的是全芯智造技术有限公司bd总监韩明的知乎回答节选,在此致谢——我自己没组织语言和加工是因为他说得太清楚了……)
因为光罩厂的生产工艺工序复杂,同时制程精度越高,需要的时间也就越长,因此它并不是一个晶圆厂的必备车间——因为晶圆厂完全可以委托其他光罩厂进行掩膜版制作,同时它还可以制造其他行业所需要的光罩。
之所以第一时间选择建光罩厂,张汝金也是看到了这一点。
目前国内尚且没有专业提供代工的光罩厂,张汝金能直接携带德仪的光罩技术过来,等建好后也能赚点小钱。
——当然,他是不知道,苏远山其实是打算在晶圆厂上先亏它个二十亿美刀的。
“光罩厂的主要设备几乎都掌握在霓国那边,包括核心的光罩写入机。还好购买过程中没有遇到太大的麻烦,霓国nuflare公司那边表示已经开始装箱,马上就能运送过来。”
张汝金带着一行人沿着崭新的水泥路面走向远处的车间,一路走,一路介绍着情况。
苏远山抬头瞥了一眼,只见整个科技园区俨然一座正在快速兴起的城市,无数个工地忙碌非凡。
“算下来,最多半年时间,光罩厂就能投入运行了。”
“嗯,到时候我们去跑跑业务,干脆让华晶那边把光罩厂撤了。”苏远山开着玩笑道:“一次流片过程中,光罩的制作成本太高了,华晶技术不行,成本更高。”
“主要还是技术。”张汝金笑道,同时转向陈建国:“陈博士,听说你有一项掩膜版的专利?”
陈建国有些不好意思的点头:“当初在联电和他们联合制作掩膜版的时候,有点小灵感。算不了什么大突破。”
“呵呵,有点进步就是好的。哪怕一个专利只够为一片晶圆减少一美元成本,这也是增加了竞争力啊。”
“那是。”苏远山替师兄接过话,他知道自己师兄不善言辞,笑道:“特别是时间成本,在半导体领域,时间是很大的成本。”
参观完厂区已经临近六点,或许是老听远芯的员工说苏远山从来都是吃员