第697章 直奔浸润式光刻(2 / 3)

小说:1991从芯开始txt 作者:三分糊涂

“只有慢慢来,我们现在只有尽量优化工艺流程,提高零部件标准,然后再细细打磨技术。”苏远山这边提到稼动率,郑振川也一阵烦恼。双工件台是好,但如果无法通过长时间的流水线生产的验证,那也仅仅只是弥补缺陷罢了。

“嗯,没事。”苏远山点点头:“工艺打磨可以慢慢来。我们本身就落后几十年,现在是强行追上来的,有缺陷和不稳定很正常,慢慢吸取教训,慢慢进步就是了。但……研发不能慢下来。”

“我希望你们直接就与林,赵团队合作,直接跳过单纯的arf光刻机……或者说,直接协同研发跨越193nm的光刻机!”

他话音落下,这边曲慧和沈浩然马上便是一惊!

“小山,你的意思是林博士他们解决了下一代光源了?”曲慧由于长年累月呆在鸿芯这边,早已经对光刻机技术和发展了如指掌,知道目前国内虽然由赵凯东那边实现了arf光源的突破,但arf在国外可是好几年前就已经突破了……而且人家早就意识到了193nm的arf激光将会是光刻机发展的一个重要节点——这也是国产光刻机追上世界的重要机会。

但人家意识得早,就意味着布局得早。尼康早就拉了一帮人在搞157nm的f2准分子光源不说,老美那边更是牛逼,国家能源局亲自下场,组建了一支豪华的阵容直接瞄准了最低可到10nm波长的极紫外光源euv。

而国内,则压根没有那个精力去搞。

现在苏远山说的不是直接搞光源,而是直接搞光刻机……

好家伙,意思就是那边的团队搞定了光源?

当然,郑振川不向曲慧他们这样一惊一乍的,作为鸿芯的负责人,他自然知道林本坚他们的方案,并且自己这边也给出了合作计划。

但苏远山现在说到直接就进行光刻机的研究……

这……是不是走得太快了一点?

所以,郑振川也疑惑地望向苏远山。

面对众人疑惑的眼神,苏远山轻轻地吸了口气。

之所以让郑振川直接就上马浸润式光刻机,自然还是因为他对林本坚有着绝对的信心。

林本坚是工程师,而且还是那种按部就班的、极为老派和严谨的工程师。他既然能提出浸润式方案,那脑海中就必定有一个大体的解决方案。

而苏远山上次从hk回来时就路过了沪市,专门去看了林本坚罗列出的一个个要解决的技术问题和难点。按照苏远山对工

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